GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
作者:标准资料网 时间:2024-05-19 14:58:38 浏览:8052
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基本信息
| 标准名称： | 真空镀膜设备通用技术条件 |
| 英文名称： | Vacuum coating plant generic specification |
| 中标分类： | 机械 >> 通用机械与设备 >> 真空技术与设备 |
| ICS分类： | 流体系统和通用件 >> 真空技术 |
| 替代情况： | GB/T 11164-1989;被GB/T 11164-2011代替 |
| 发布部门： | 国家质量技术监督局 |
| 发布日期： | 1999-04-08 |
| 实施日期： | 1999-09-01 |
| 首发日期： | 1989-03-31 |
| 作废日期： | 2012-06-01 |
| 主管部门： | 中国机械工业联合会 |
| 归口单位： | 全国真空技术标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 上海通用机械研究所 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2004-04-09 |
| 页数： | 平装16开， 页数：8， 字数：9千字 |
| 书号： | 155066.1-16228 |
适用范围
本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在１０－１～１０－３Ｐａ范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。
前言
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所属分类： 机械 通用机械与设备 真空技术与设备 流体系统和通用件 真空技术
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